【半導体製造装置】特許資産規模ランキング2023　トップ3は東京エレクトロン、AMAT、ディスコ

　弊社はこのほど、独自に分類した「半導体製造装置」業界の企業を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング2023」をまとめました。2022年4月1日から2023年3月末までの1年間に登録された特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計しました。

　その結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS、3位 ディスコとなりました。

　　　　　【半導体製造装置　特許資産規模ランキング2023　上位10社】

　1位 東京エレクトロンの注目度の高い特許には「極端紫外線リソグラフィに利用可能な光増感化学増幅レジストのモデル較正」や「基板の上に密度の均一性が改善された気相ラジカルを提供するシステム」に関する技術が挙げられます。いずれの特許も、中国、米国、韓国、台湾にも出願されています。

　2位 APPLIED MATERIALSは「35℃以下で金属酸化物によりカプセル化した薬物を調製する医薬組成物及び方法」や「電子デバイス製造用の環境要因を向上したロードポート機器」に関する技術が注目度の高い特許として挙げられます。

　3位 ディスコの注目度の高い特許には「接着剤を使用せずにシートをフレームに固定し、シートとフレームの分離後に清掃作業が不要な加工方法」や「デバイスチップのボンディング不良を抑制できる銅張積層板の製造方法」に関する技術が挙げられます。

　4位のSCREENホールディングスは「撮像によって得られた画像による対象物の外観検査で、検査の精度を高めるための技術」、5位のKLAは「接地またはバイアスされた導電性接点を備えた裏面照射型イメージセンサ」などが、それぞれ注目度の高い特許として挙げられます。

ランキングデータの販売

特許資産規模ランキングデータを、以下の通り販売しています。
※ランキングデータには個別特許の評価データは含まれません。

【半導体製造装置】特許資産規模ランキング

・半導体製造装置　特許資産規模ランキング（全期間トップ50と2022年度のトップ30）
・半導体製造装置　登録特許件数ランキング（全期間トップ50と2022年度のトップ30）
・全業種　特許資産規模ランキング（全期間と2022年度トップ100）
・全業種　登録特許件数ランキング（全期間と2022年度トップ100）

【納品形態】
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【価格】
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件数に応じて下表の単価が適用となります。

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