弊社はこのほど「半導体製造装置業界」を対象に、2023年の特許審査過程において他社特許への拒絶理由として引用された特許件数を企業別に集計した「半導体製造装置業界 他社牽制力ランキング2023」をまとめました。この集計により、直近の技術開発において競合他社が権利化する上で、阻害要因となる先行技術を多数保有している先進的な企業が明らかになります。
集計の結果、2023年に最も引用された企業は、東京エレクトロン、次いでＳＣＲＥＥＮホールディングス、APPLIED MATERIALS（米）となりました。
【半導体製造装置業界 他社牽制力ランキング2023 上位10社】
| 順位 | 企業名 | 引用された 特許数 |
|---|---|---|
| 東京エレクトロン | 911 | |
| ＳＣＲＥＥＮホールディングス | 490 | |
| APPLIED MATERIALS（米） | 335 | |
| ディスコ | 260 | |
| アルバック | 190 | |
| 芝浦メカトロニクス | 153 | |
| 東京精密 | 149 | |
| LAM RESEARCH（米） | 126 | |
| キヤノンアネルバ | 102 | |
| ASML NETHERLANDS（蘭） | 98 | |
1位 東京エレクトロンの最も引用された特許は「基板上に低分子化合物のレジスト膜を適切に成膜する」技術で、LAM RESEARCHの計5件の審査過程で引用されています。このほかには「排液を導出するドレイン管路のメンテナンス頻度の低減に有効な基板処理装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、ＳＣＲＥＥＮホールディングスの計3件の拒絶理由として引用されています。
2023年に、東京エレクトロンの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業はAPPLIED MATERIALS（114件）、次いでＳＣＲＥＥＮホールディングス（64件）となっています。
2位 ＳＣＲＥＥＮホールディングスの最も引用された特許は「シートフィルムの自動ハンドリング（保持・搬送）」に関する技術で、ディスコなどの計8件の審査過程で引用されています。このほか「分類性能を向上した画像分類装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、東洋製缶グループホールディングスなどの計4件の拒絶理由として引用されています。
2023年に、ＳＣＲＥＥＮホールディングスの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業は、東京エレクトロン（62件）、次いでSEMES（韓）（40件）です。
3位 APPLIED MATERIALSの最も引用された特許は「プラズマエッチング作業工程用の基板支持体」に関する技術で、ＴＯＴＯの「静電チャック」関連特許など計4件の審査過程において拒絶理由として引用されています。
2023年に、APPLIED MATERIALSの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業は、東京エレクトロン（49件）、次いでLAM RESEARCH（28件）となっています。
そのほか、4位 ディスコは「ウエーハの加工方法」、5位 アルバックは「光輝性膜および光輝性膜の製造方法」が、最も引用された特許として挙げられます。
【ランキングの集計について】
日本特許庁に特許出願され、2023年12月までに公開された全特許のうち、2023年1月～12月末の期間に拒絶理由（拒絶理由通知または拒絶査定）として引用された特許を対象に、抽出・集計をしています。
また本ランキングでは、権利移転を反映した集計を行っています。2024年5月時点で権利を保有している企業の名義でランキングしているため、出願時と企業名が異なる可能性があります。
なお各企業の業種につきましては、総務省の日本標準産業分類等を参考に分類しています。
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