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CMP用研磨パッド関連技術、特許総合力トップ3は東洋ゴム工業、米・APPLIED MATERIALS、米・ROHM AND HAAS


2015年10月22日

 弊社はこのほど、日本に出願されたCMP用研磨パッド関連技術について、特許分析ツール「Biz Cruncher」を用いて参入企業に関する調査結果をまとめ、レポートの販売を開始しました。

 CMP(化学機械研磨)は研磨パッドを動かすことにより、スラリーがキャリアの凹凸を研磨することから、研磨パッドの材質や形状、各種物性値等が研磨特性に大きく関わってきます。本調査ではCMP用研磨パッドに関する特許を集計し、各個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」をベースとして、特許の質と量から総合的に見た評価を行いました。

 その結果、「総合力ランキング(※1)」では、1位東洋ゴム工業、2位APPLIED MATERIALS(AMAT)、3位ROHM AND HAAS ELECTRIC MATERIALS CMP HOLDINGSとなりました。




    【CMP用研磨パッド関連技術 特許総合力トップ5】(表1)

順位 企業名 総合力
(権利者スコア)
有効特許件数 個別力
(最高スコア)
1
東洋ゴム工業631.68877.4
2
APPLIED MATERIALS363.83889.0
3
ROHM AND HAAS ELECTRONIC
MATERIALS CMP HOLDINGS
221.48363.7
4
JSR219.33470.7
5
NEXPLANAR214.91671.6

CMP用研磨パッド関連技術

図1:CMP用研磨パッド関連技術 競合状況


 総合力1位の東洋ゴム工業は樹脂製パッドの気泡に関し規定した特許、2位のAMATは表面粗さをその場測定するため研磨パッドに透明窓を形成する技術に関する特許、3位のROHM AND HAAS ELECTRIC MATELIALS CMP HOLDINGSは溝パターンに関する特許が高い注目度となっています。なお、総合力3位のROHM AND HAAS ELECTRIC MATERIALS CMP HOLDINGSはかつてのRODELがROHM AND HAASに買収され名義が変わったものです。また、ROHM AND HAAS自体もDOW CHEMICALに買収されており、2014年以降の出願分のほとんどがDOW CHEMICALの子会社であるDOW GLOBAL TECHNOLOGIESとの共同出願になっているという特徴があります。このほかDOW CHEMICAL関連企業としてはニッタとの合弁企業であるニッタ・ハースが上位にランクインしています。


 図表2は総合力上位5社について、特許分類の一つであるFタームを利用し、研磨パッドにおける技術要素を集計したものです(各企業の技術要素別出願割合を表示。各技術要素は重複集計)。


CMP用研磨パッド関連技術

図2:総合力上位5社の研磨パッドにおける技術要素


 AMATを除く4社の「構造、形状」に関する特許はそれぞれ90%以上となっており、特にNEXPLANARは全ての特許が「構造、形状」に関連したものとなっています。NEXPLANARはこのほか「材質」、「製造・評価」についても90%以上となり、同社の特許は材質、構造、製造と様々な要素が含まれているものが多いということが分かります。このほか、AMATは「構造、形状」に関する出願割合が多いものの総合力上位5社の中では最も低く、一方で「コンディショニング」への出願割合が最も高く、他の総合力上位企業と比べ異なる特徴があることが分かります。


 本分析の詳細については、特許・技術調査レポート「CMP用研磨パッド関連技術」にてご覧いただけます。

 CMPシリーズとして、「CMP用研磨パッド」に加え、「CMP関連技術」、「CMP用研磨剤」に関する調査結果を発表しております。


 

(※1)総合力の評価では、個別特許の注目度を得点化する、「パテントスコア」を企業や研究機関ごとに集計し、パテントスコアが50点以上のものを合算しています。50点以上のものだけを集計している理由は、パテントスコアが低くても特許件数が多いことによって総合力が上がってしまうことを防ぐためです。


【調査対象の特許群について】 1993年から最新2015年8月末までに公開された特許公報が対象。公開、登録、公表、再公表のすべてが対象で、登録と、公開・公表・再公表が重複している場合は、登録を優先。企業等の集計単位は権利者ベースとする。


特許・技術調査レポート 『CMP用研磨パッド関連技術』

参入企業の技術力と成長性を弊社アナリストが分かりやすく解説したレポートです。

【価格】
※個別企業分析の対象企業は、特許総合力上位企業または任意にご指定可能。


 

(注)レポートは弊社データベースにおける最新の収録範囲に基づき作成いたします。
そのため、ご発注のタイミングによっては上記ランキングと順位、値が異なる可能性があります。


【納品形態】
冊子1冊。CD-ROMにレポートのPDF、分析に使った特許公報リストCSVを収録。



特許総合力ランキングデータ 『CMP用研磨パッド関連技術』

パテントスコアを用いた総合力評価や出願件数などに基づく各種ランキングデータのご提供です。

【収録データ】
  ・特許総合力ランキング_上位30社リスト
  ・有効特許件数ランキング_上位30社リスト
  ・開発規模(出願件数)ランキング_上位30社リスト
  ・競合状況分析マップ (権利者スコアマップ)
  ・母集団の公報リスト

サンプルデータはこちら(PDF)

 

【納品形態】
上記データを収録したCDで納品

【価格】
50,000円(税抜)



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